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代理现货EBARA荏原制作所 EST100WN干式真空泵 代理现货EBARA荏原制作所 干式真空泵 荏原的精密、电子事业分公司支援业界的技术制造环境,是真空技术与平坦化技术。 荏原向世界提供各式各样的产品,除了半导体制造的CMP装置,还有干式真空泵、废气处理设备、臭氧水制造设备等。这些产品具有高性能、高可靠性以及安心的支援体制,持续被采用于多样化的领域。