TG350FCAB（日本 OSAKA 大阪真空 涡轮分子泵）

型号含义

• TG350F：350L/s 系列分子泵

• C：进气口 CF100 法兰

• A：风冷

• B：内置一体式控制器（TC353）

核心参数

• 氮气抽速：330 L/s（CF100），VG 法兰版 350 L/s

• 转速：46,000 rpm

• 极限真空：＜1×10⁻⁶ Pa

• 前级接口：KF25（适配 ESA100W）

• 冷却方式：强制风冷

• 启动时间：2–2.5 min；停机时间：5–6.5 min

• 重量：9 kg

• 耐压：可承受 400 次以上大气冲击，抗震、任意角度安装

关键特点

1. 油脂润滑滚珠轴承，体积小、重量轻、成本低

2. 高压缩比，高背压可连续运行，适配大流量工艺

3. 自带控制器，支持串口通讯，兼容 SEMI‑S2、CE、NRTL

4. 风冷免水冷，维护简单，适合半导体、镀膜、分析仪器