ESA100W（荏原 EBARA 干式真空泵）

核心参数

• 抽气速度：10000 L/min（50Hz）/12000 L/min（60Hz）

• 极限真空：0.6 Pa（2.7×10⁻³ mbar）

• 进气口：ISO80；排气口：NW40

• 功率：最大 5.2kW，极限压力 3.4kW

• 冷却方式：水冷，最小冷却水流量 3.5 L/min

• 尺寸：1041×400×810 mm；重量：约 400kg

• 氮气吹扫：轴承密封 12 L/min

核心特点

1. 两级罗茨结构，氢气 / 轻气体排气性能行业

2. 智能转速控制，适配大气体负载，耐恶劣工艺气体

3. 水冷设计，适合连续长时间运行

4. 可选耐腐蚀材质、有机溶剂排气配置

5. 带报警、数据存储、可编程参数设置

主要应用

• 半导体：MO‑CVD、PVD、刻蚀、镀膜

• 光伏、LED、FPD 面板制程

• 氢气工艺、大型真空腔体、真空干燥

• 化工、精密真空设备