产品简介

日系精品EBARA荏原制作所 EV-S20(P/N)干式真空泵
日系精品EBARA荏原制作所 干式真空泵
荏原的精密、电子事业分公司支援业界的技术制造环境，是真空技术与平坦化技术。
荏原向世界提供各式各样的产品，除了半导体制造的CMP装置，还有干式真空泵、废气处理设备、臭氧水制造设备等。这些产品具有高性能、高可靠性以及安心的支援体制，持续被采用于多样化的领域。

日系精品EBARA荏原制作所 干式真空泵

日系精品EBARA荏原制作所 干式真空泵

• 基本信息

• 定义：干式真空泵（Dry Vacuum Pump）也称无油真空泵，是为满足工业生产对真空环境越来越严格的要求而发展起来的新型真空获得设备，工作时泵腔内无油或其他工作介质。

• 发展历程：17 世纪，葛利克、伽利略等科学家开始研究人造真空，其使用的装置是干式真空泵的简易版本。1985 年，日本研发并生产了一台爪型式真空泵，应用于半导体产业链中。1994 年，中国自主研发了第一台爪式真空泵，开启了中国干式真空泵的自主研发道路。

• 工作原理与分类

• 容积式干式真空泵：通过改变泵腔容积来实现抽气，如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。以螺杆式泵为例，在泵体内平行配置着一对转子，分别称为阴、阳转子，一般阳转子与电机相连，通过一对同步齿轮带动阴转子转动，阴阳转子之间、转子与泵体之间都有微小的间隙，不直接接触，无需润滑，气体由上侧进入，在泵腔内压缩由转子下端排除。

• 动量传输式干式真空泵：如涡轮式无油泵、牵引型干式泵等。涡轮式无油泵在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构，多级串联抽气，靠高速旋转的叶轮对气体分子施加动量，使气体分子获得定向速度而被抽走。

• 特点

• 气体处理限制：不能处理大量的腐蚀性气体，否则会使其表面腐蚀，导致泵的效率下降和寿命缩短；也不能处理大量的水蒸气，一般无法处理超过单位体积几个百分点的水蒸气。

• 造价较高：相比一些传统的有油真空泵，干式真空泵的制造工艺和技术要求较高，因此造价通常也比较高。

• 清洁环保：无油润滑，不会产生油污和蒸汽污染，能保持真空环境的洁净，特别适用于对环境清洁度要求高的场合，如半导体制造、制药等行业。

• 真空度高：可以达到的真空度，最高可达到 10-9Torr 的真空度级别，能满足一些需要超高真空的工艺需求。

• 低维护成本：没有润滑油和滤芯等易损部件，减少了定期更换润滑油、滤芯等维护工作，降低了维护成本。

• 可靠性高：由于没有飞溅润滑油，避免了因润滑油问题导致的故障，有更高的可靠性和更长的使用寿命。

• 可抽除特殊气体：部分干式真空泵可抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体，还能处理腐蚀性介质和易燃易爆气体。

  
  

• 应用领域

• 半导体行业：用于半导体制造过程中的光刻、蚀刻、镀膜等工艺，要求真空环境洁净度高，干式真空泵可避免油污染，保证半导体器件的质量和性能。

• 化学工业：在化工生产中的蒸馏、干燥、脱泡等工艺中广泛应用，可抽除各种腐蚀性、易燃易爆气体，同时能满足化工工艺对真空度的要求。

• 医药工业：制药过程中的真空干燥、浓缩、蒸馏以及药品包装等环节，干式真空泵可提供清洁的真空环境，防止药品受到污染。

• 食品工业：用于食品的真空包装、冷冻干燥等，能延长食品的保质期，保持食品的品质。

• 航天领域：在航天器的制造、测试以及太空模拟等方面，干式真空泵可提供高真空度的环境，模拟太空环境条件。