现货介绍Osaka Vacuum(大阪真空)TG3413油润滑复合分子泵
2026-01-05 TG3413是日本OsakaVacuum(大阪真空)推出的油润滑复合分子泵,属于TG系列,具备高真空排气能力,适配半导体制造、FPD生产、表面处理等场景,还拥有耐大气突入与外部冲击、支持串行通信等特点,符合NRTL/SEMI-S2安全规范。以下是其详细介绍:核心参数参数详情进气口法兰VG350排气速度N₂:3400L/s(带保护网3200L/s);H₂:2600L/s大压缩比N₂:1×10⁸;H₂:6×10³极限压力<1×10⁻⁶Pa(<7.5×10⁻⁹Torr)大N₂流量5...
扫码加微信
移动端浏览