大塚电子Otsuka SMART系列手持式光学膜厚计 核心特点与原理

日本大塚电子（Otsuka）推出的SMART系列手持式光学膜厚计。它主打便携、无损和非接触测量，适合在生产现场或对已成品进行快速检测，无需像传统仪器那样依赖实验室环境或破坏样品。

核心特点与原理

• 测量原理：采用反射分光法（光干涉法）。通过分析光在薄膜上下表面反射产生的干涉光谱来计算厚度，属于非破坏性测量。

• 便携设计：主机重量约 1.1kg，单手可持，方便带到产线或合作厂商处直接测量。

• 无需校准且不挑基材：与电磁式测厚仪不同，它不需要制作检量线，且能测量非金属基材（如玻璃、高分子）上的涂层，直接给出绝对值结果。

• 应对特殊形状：非接触测量方式使其能应对曲面或复杂形状的样品，不损坏工件。

两个版本的区别

该系列主要有两个型号，选择取决于你需要测单层还是多层膜：

Pro 版（SM-110PO）

• 膜厚范围：0.1 ~ 100 μm（单层）；1 ~ 100 μm（多层）。

• 多层能力：支持最多 3 层薄膜的测量。

• 适用场景：功能更全面，适合研发或需要分析多层结构的场景。

Standard 版（SM-110SO）

• 膜厚范围：1 ~ 50 μm（仅单层）。

• 多层能力：仅支持单层膜测量。

• 适用场景：入门款，满足常规的单层涂层现场检测需求。

关键规格与选配

• 精度与速度：重复精度高达 0.01 μm（2.1σ），单次测量时间在 1 秒以内。

• 光斑大小：测量光斑直径在 Φ1mm 以下，适合测量小面积区域。

• 数据输出：数据可通过 USB 导出为 CSV 文件。

• 实用选配：若需测量狭窄区域或深孔，可选配笔型探头（ Φ6mm）；若样品怕触碰（如湿膜、晶圆），可选配非接触式载台。