更新时间:2026-04-02
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HE-480R 是日本 HORIBA(堀场) 生产的 嵌入式(面板式)超纯水电阻率计,专为半导体、电子、制药行业的超纯水(UPW)在线监测设计。
品牌:HORIBA Advanced Techno (堀场)
型号:HE-480R (W) —— W 代表超纯水专用
类型:4 线式、面板安装型电阻率仪
测量原理:双电极法(2-electrode)
电极常数:0.01 /cm(适配超纯水低电导)
电阻率:
0 ~ 0.200 / 2.00 / 20.00 / 100.0 MΩ·cm
(或 0~2.00 / 20.0 / 200.0 / 1000 kΩ・m)
温度:0 ~ 100°C
温度传感器:Pt1000 铂电阻(1000Ω / 0°C)
精度:重复性 ±0.5% FS;线性 ±0.5% FS
自动温度补偿(ATC):自动换算为 25°C 标准电阻率
补偿模式:纯水 / 超纯水 / 用户自定义
双行数码显示:电阻率 + 温度
输出:
模拟:4~20mA DC(隔离,大负载 900Ω)
继电器:2 点报警输出(R1/R2)
通讯:RS-485(可选)
供电:AC 100~240V,50/60Hz
面板尺寸:48 (W) × 96 (H) mm(SLIM48 标准)
深度:115mm(安装后约 105mm)
重量:约 400g
半导体:硅片清洗超纯水监控
电子、制药、食品:高纯水工艺监测
适合:最终清洗(Final Rinse) 环节
HE-480R:单通道,标准型
HE-480R(W):超纯水专用(常用)
HE-960RW:96mm 尺寸,双通道
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