日本樫山(KASHIYAMA)SDX1800 干式真空泵
2025-10-29
工业核心设备:日本樫山(KASHIYAMA)SDX1800干式真空泵这是半导体、电子制造领域的设备,由日本KASHIYAMA(柏山工业)研发,专注真空环境控制,是行业标准配置之一。1.核心特性无油干式设计:避免润滑油污染介质,适配超洁净工艺(如半导体晶圆加工);抽气性能强劲:最大抽速50,000L/min,极限压力低至0.5Pa,可快速建立稳定真空环境;节能低耗:运行功率仅2.1kW,冷却水需求仅3.0L/min,降低长期运行成本;灵活兼容:支持0-80SLM氮气吹扫调节,可...