大阪真空TG350FRWB复合分子泵核心技术规格

TG350FRWB 是日本大阪真空（Osaka Vacuum）生产的 TG350F 系列复合分子泵 / 涡轮分子泵（Turbo Molecular Pump）的具体型号。该型号常用于半导体、平板显示器（FPD）制造和科研等需要高真空环境的领域。

型号命名与规格参数含义

根据大阪真空的产品编码规则：

• TG350F：基本产品系列（排气速度约 350 L/s）

• R：进气口法兰型号，为 ISO-R 标准（如 ISO 100-R 或 ISO 160-R）

• W：冷却方式为 水冷（Water Cooling）

• B：规格分类，通常指标准型（Standard Type）

• 排气速度 (N₂)：330 L/s（ISO-R 法兰）

• 最大压缩比 (N₂)：1 × 10⁸

• 极限压力：< 1 × 10⁻⁶ Pa（< 7.5 × 10⁻⁹ Torr）

• 启动时间：2 至 2.5 分钟

• 停止时间：5 至 6.5 分钟

• 泵体重量：约 6 kg

• 推荐配用电源（控制器）：TC353A

1. 安装姿态任意：支持多角度安装，方便设备内部的紧凑集成。

2. 耐大真空冲击：泵体结构对瞬间突入的大气具有较强的耐受力和抵抗性。

3. 快速通气停止：具备急速 Vent 停止功能，缩短工艺周期。

4. 安全与质量认证：符合 NRTL、SEMI-S2 及 CE 安全标准。

代理商：玉崎科学仪器（深圳）有限公司