EV-A10-2S 荏原 EBARA 干式罗茨真空泵

一、型号释义

• EV-A10：整机系列型号，风冷多级干式真空泵

• 2S：单相供电版本（Single-phase），对应三相款 EV-A10-3S

• 适用电压：单相 AC200~240V，电压波动 ±10%，实验室市电直接可用

二、核心技术参数

1. 抽速

• 最大抽速：1000 L/min

• 大气压抽速：800 L/min

2. 极限真空

• 关闭气镇：1.0 Pa

• 开启气镇：2.0 Pa

3. 水汽处理：标配可开关气镇阀，最大水蒸气排出量 500 g/h，适配含水工艺

4. 功率：极限真空运行功率约 1.1 kW

5. 接口

• 进气：NW40

• 排气：NW40

6. 散热：一体式风冷，无需水冷，无水路、无漏水风险，无尘车间 / 实验室均可内置安装

三、结构优势

1. 五级非接触罗茨转子干式结构，腔体与润滑腔隔离，无油气污染

2. 内嵌变频控制，启停稳定、能耗低

3. 带脚轮 + 调平底座，移动安装便捷

4. CE/UL 认证，半导体、锂电、光学行业通用

四、典型应用场景

• 锂电真空脱气、注液前预抽

• 等离子清洗、薄膜沉积 Load-Lock 腔体

• 真空干燥、溶剂脱除、实验室真空腔体

• 频繁破真空、反复抽大气工况（对比涡旋泵效率更高）