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精品分享HORIBA堀场IT-270高精度红外测温仪

更新时间:2026-07-14点击次数:13

一、产品定位

日本堀场设备内置型非接触红外测温传感器,主打超高一致性、可深度定制,专为半导体 SiC 晶圆、真空腔体、精密工业产线集成设计,同批次多台设备间测量偏差极小,适合多测点同步测温场景

二、核心标准规格(基础款)

1. 测温基础

  • 标准量程:-50 ~ 200℃,分辨率 0.1℃;可定制拓展至 -50~1000℃

  • 光谱波段:标准 8~14μm;可定制 3~14μm 适配蓝宝石 / 氟化钙真空窗口

  • 发射率补偿:0.100~1.200连续可调,适配金属、塑料、半导体晶圆

2. 测量精度(发射率 = 1.0 条件)

3. 光学视场

150mm 测距下,被测光斑≤Φ8mm(90% 红外能量);镜头、视场可按需定制大小光斑

4. 响应与采样

  • 采样周期:0.05s(20Hz)

  • 响应时间(95% 稳定值,移动平均 20 次):≤1.4s

5. 电气与机械

  • 供电:DC5V±5%,功耗≤0.1W

  • 本体通讯:半双工 RS-485(38400bps)

  • 尺寸:26 (W) × 72 (D) × 35 (H) mm

  • 重量:<150g,超小型易嵌入设备腔体

  • 工作环境:0~55℃,湿度 35%~85% RH(无凝露)

  • 认证:CE、FCC

三、选配件:IT-27C 信号转换器

本体仅 RS485,如需工业标准输出搭配 IT-27C 转接模块:
  • 2 通道接入,可同时接 2 台 IT-270

  • 输出:4~20mA 模拟电流、RS232C

  • 供电 DC24V,功耗≤2W,适配 PLC / 工控采集系统

四、核心优势

  1. 批量一致性强

    专用黑体炉逐台校准,多台同型号测温偏差极小,适合半导体多腔体、多点阵列测温。

  2. 抗环境干扰

    自研热电堆传感器 + 隔热结构,大幅抵消环境温度波动带来的漂移,真空 / 高低温设备稳定输出。

  3. 全维度深度定制

    测温区间、红外波段、光斑大小、通讯协议、光学窗口适配均可按需修改,匹配 SiC、硅片、镀膜、真空工艺。

  4. 微型低功耗

    体积小巧、发热量极低,不干扰腔体内部热场,适配精密半导体设备狭小安装空间。

五、典型应用场景

  1. 半导体:SiC / 硅晶圆真空腔体测温、薄膜沉积、退火工艺监控

  2. 精密工业:镀膜机、锂电池涂布、塑料挤出、小型热处理炉

  3. 特种设备:真空腔体、无尘产线、小型精密温控设备内置测温


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