涡轮分子泵TG220FCAB大阪真空Osaka性能介绍

TG220FCAB（大阪真空 Osaka Vacuum）

一、型号含义

• TG220F：基础型号，220= 名义抽速 220 L/s；F= 脂润滑滚珠轴承

• C：控制器分离式（Remote）

• A：强制风冷

• B：进气口 ISO‑R63 法兰

二、核心规格（N₂）

• 抽速：220 L/s（裸泵）/210 L/s（带保护网）

• 极限真空：<1×10⁻⁷ Pa

• 最大压缩比：1×10⁸（N₂）

• 轴承：脂润滑滚珠轴承，免维护、长寿命（>10,000 小时）

• 安装：（任意角度），耐大气冲击（可承受 400 次大气冲击）

• 接口：进气ISO‑R63，排气KF25

• 冷却：强制风冷

• 控制器：TC76（分离式）

• 重量：约8.15 kg

三、主要特点

• ✅ 复合结构（涡轮 + 螺旋槽）：宽真空范围（低真空→超高真空），大流量排气

• ✅ 耐振动 / 冲击：适合移动设备、频繁启停与突发大气冲击场景

• ✅ 洁净无油：脂润滑，无油污染，适配半导体 / 分析仪器

• ✅ 快速启动 / 停止：缩短待机时间，提升效率

• ✅ 通信接口：标配RS‑232C，支持远程监控

四、典型应用

• 半导体 / 面板制造（沉积、刻蚀、离子注入）

• 分析仪器（SEM、XPS、SIMS、质谱）

• 科研设备（加速器、核聚变、表面物理）

• 工业真空（热处理、镀膜、焊接）

五、套装内容

• 泵本体（TG220FCAB）

• 控制器（TC76）

• 电机电缆（3 m）

• 风扇电缆（3 m）

  需要我把它和同系列的 TG350FCAB/TG450FCAB 做一个关键参数对比吗？