更新时间:2026-04-02
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EV-PA500 是日本荏原制作所(EBARA)推出的一款超小型、轻量型空冷式干式真空泵,专为实验室、分析仪器及轻型工业应用设计
抽气速度:500 L/min (18 cfm);气镇开启时:430 L/min
极限真空:0.5 Pa (气镇开启时:2.0 Pa)
冷却方式:空冷(无需冷却水)
电源:单相 100–240 VAC, 50/60 Hz
功耗:0.27 kW(极限真空下)
重量:21 kg
尺寸 (W×L×H):189 × 482 × 272 mm
噪音:58 dB(A)
进气 / 排气口:NW25 快装接口
无油洁净真空:采用多级罗茨(Roots)非接触转子结构,无油,避免污染,适合对清洁度要求高的场景。
免维护设计:无密封件磨损,无需年度保养,大幅降低使用成本。
便携节能:体积小、重量轻,支持移动使用;超低功耗(<300W)。
低噪低震:运行安静平稳(58 dB),适合实验室环境。
宽电压适配:通用电压(100-240V),即插即用。
分析仪器:电子显微镜(SEM/TEM)、质谱仪(MS)、表面分析仪、残余气体分析仪(RGA)
半导体 / 科研:小型负载锁(Load Lock)、真空手套箱、真空传输系统
工业 / 检测:检漏设备、真空吸附、小型镀膜、真空脱气
移动作业:便携式真空系统、野外 / 现场测试设备
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