一、核心参数（EV‑S200N）

• 品牌：日本 EBARA（荏原）

• 型号：EV‑S200N（N 为标准型，P 为防腐型）

• 类型：多级罗茨式干式真空泵（无油）

• 抽气速率：20,000 L/min（≈333 L/s）

• 极限压力：0.5 Pa

• 电机功率：约 15 kW

• 材质：标准型（N），无氮气吹扫；防腐型（P）带吹扫

• 控制：标配 LCD 可编程控制器，支持预警与诊断

干式真空泵 主要应用领域

1. 半导体 / 微电子（最核心）

• 刻蚀、PVD/CVD 镀膜、离子注入

• 晶圆工艺、Loadlock 预抽

• 光刻机、检测设备

2. 平板显示 / 光伏

• OLED/LCD 面板镀膜、成膜

• 太阳能电池片镀膜、工艺腔体真空

3. 科研实验室

• 电子显微镜（SEM/TEM）

• 真空烘箱、脱泡、检漏

• 薄膜制备、材料分析

4. 真空镀膜行业

• 光学镀膜、装饰镀膜、工具镀膜

• 卷绕镀膜、磁控溅射

5. 医疗 / 生物医药

• 真空冷冻干燥

• 灭菌设备、负压系统

• 分析仪器、质谱仪

6. 化工 / 新材料

• 蒸馏、浓缩、干燥

• 反应釜、脱气、回收

• 锂电池极片烘干、注液前脱气

7. 食品包装

• 真空包装、充氮包装

• 肉类、熟食、电子元件防潮包装

8. 电子元器件

• 电容、电阻、连接器封装

• 除气、灌封、检漏