现货介绍EBARA荏原EV‑SA30干式真空泵

核心参数（2026 年 1 月）

关键特性

1. 无油洁净：多级罗茨结构无油污染，适配半导体晶圆、光伏电池片等对洁净度要求高的制程。

2. 空冷免维护：无需水冷系统，减少管路与维护成本，适合无水或空间受限场景。

3. 低噪节能：56 dB (A) 运行噪音，极限压力下功耗低至 1.1 kW，长期运行成本优势显著。

4. 接口兼容：NW40 接口适配多数真空设备，气镇功能可处理少量水汽，提升工况适配性。

5. 稳定可靠：非接触式转子设计，磨损小、寿命长，适合连续运行的产线或实验环境。

典型应用场景

• 半导体：晶圆清洗、光刻胶涂覆、PECVD 等前道制程的真空环境维持。

• 光伏：电池片沉积、等离子体刻蚀等洁净真空环节。

• 分析仪器：质谱仪、电子显微镜、真空干燥箱的真空源供给。

• 材料研发：真空镀膜、溅射、离子注入等实验设备的配套真空系统。

• 工业制造：电子元器件封装、精密焊接等低污染真空场景。

采购与配套要点

配套建议

• 真空管道：采用 NW40（KF40）法兰，配金属密封圈确保密封性能。

• 电源配置：三相 200‑240 VAC，预留 3 kVA 供电容量，避免电压波动影响运行。

• 维护周期：建议每 6 个月检查滤芯、消音器，每年进行一次全面保养与性能校准。

1. 选型对比

   | 型号 | 抽速（L/min）| 极限压力（Pa）| 功率（kW）| 适用场景 |

   | ---- | ---- | ---- | ---- | ---- |

   |EV‑SA20|1670|3.0/5.0|1.5 | 小型分析仪器、实验室小腔体 |

   |EV‑SA30|3300|3.0/5.0|1.5 | 中型产线、光伏 / 半导体中小腔体 |

   |EV‑SA50|5000|3.0/5.0|1.5 | 大型腔体、高抽速需求的制程线 |