日本樫山（KASHIYAMA）SDX1800 干式真空泵

工业核心设备：日本樫山（KASHIYAMA）SDX1800 干式真空泵

1. 核心特性

• 无油干式设计：避免润滑油污染介质，适配超洁净工艺（如半导体晶圆加工）；

• 抽气性能强劲：最大抽速 50,000 L/min，极限压力低至 0.5Pa，可快速建立稳定真空环境；

• 节能低耗：运行功率仅 2.1kW，冷却水需求仅 3.0L/min，降低长期运行成本；

• 灵活兼容：支持 0-80 SLM 氮气吹扫调节，可与同系列 SDX/SDT/SDH 型号设备协同扩展；

• 小型化设计：外形尺寸 1050×515×950mm（长 × 宽 × 高），节省安装空间。

2. 应用场景